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日本潔凈室標準 JIS B 9920潔凈度等級表

無塵室的應用，大致可分為二類，即工業(yè)用無塵室〈Industrial Clean Room〉簡稱ICR ，和生化及醫(yī)藥用無塵室〈Biological Clean Room〉簡稱 BCR。

在工業(yè)用無塵室其清凈度規(guī)格方面，有美國聯(lián)邦標準規(guī)格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本國家標準 JIS B 9920 等多種參考規(guī)范。

在生化、醫(yī)藥用無菌室其要求規(guī)格有美國航空太空總署〈NASA〉規(guī)范〈NHB 5340.2〉最為普遍。無塵室的設(shè)計通常依照使用需求情況加以檢討再決定采用何種規(guī)范作為基準。

JIS B 9920標準無塵等級的濃度上限 (pcs/m3)

粒徑	無塵等級
(μm)	class 1	class 2	class 3	class 4	class 5	class 6	class 7	class 8
0.1	101	102	103	104	105	(106)	(107)	(108)
0.2	2	24	236	2360	23600	????	????	????
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	(35)	(0.3)	35	350	3500	55000	350000	3500000
5	????	????	????	????	29	290	2900	29000
無塵等級	0.1～0.3		0.1～0.5		0.1～5.0	0.3～5.0
粒徑范圍	0.1～0.3		0.1～0.5		0.1～5.0	0.3～5.0
附注	1	第3A5,6,7和8級相當于美國聯(lián)邦標準209D(無塵室和控制環(huán)境的工作站)相對的第1,100,1000,10000和100000。
	2	濃度的上限代表等于或大于指定顆粒大小的灑度。
	3	濃度的上限是指顆粒大小為0.1μm和0.5μm的量。
	4	在括弧中的數(shù)字是指顆粒大小不同民指定大小的量,它們只供評估無塵等級和只當參考用而已。